Razón 1: El ajuste del enfoque es inexacto.
Solución: Reajustar el enfoque, el enfoque del mínimo para mejor.
Razón 2: La reacción no se ajusta.
Solución: Consulte el manual de funcionamiento del software “ajuste de holgura” para realizar el ajuste.
Razón 3: La resolución de salida del patrón es demasiado baja.
Solución: ajuste la resolución.
Razón 4: El texto y los gráficos son incorrectos.
Solución: Ajuste el programa de tratamiento.
Razón 5: Los parámetros de grabado de pasos son incorrectos.
Solución: ajustar.